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鞋材真空镀膜中应注意的事项

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鞋材真空镀膜中应注意的事项

2020-04-13


1)用于鞋材真空镀膜的中频磁控管溅射电源对磁控管溅射靶有更高的要求。 “双”靶要求表面磁场,溅射面积,靶材料和厚度尽可能一致。否则会影响电源的运行,严重时会导致过流保护。


2)由于两个靶交替工作,中频磁控管溅射电源的启动电压和工作电压高,并且在低压下也容易发生熄灭现象。


3)由于两个目标交替工作,从理论上讲,中频磁控溅射电源的电流或功率选择基本上可以由直流磁控溅射的两倍来决定,但考虑到其较高的工作电压,可以适当降低工作量当前。


4)由于当前的中频磁控管溅射电源的工作频率较低(20?60KHz),因此无法溅射绝缘靶。


5)中频磁控溅射电源的空载电压一般≥1000V?1200V,工作电压为500V?800V,工作频率为20KHz?60KHz,占空比为10%?90%。


6)较高的工作频率有利于提高抑制火花的能力,但会限制电源输出平均电流的能力。


4.送风系统:主要由电磁阀开关和气体流量控制组成

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5.偏置电压电源:用于多弧离子和磁控溅射镀膜技术。仅由于磁控溅射的电离率远低于多弧离子镀的电离率,所以所需的偏置电源的功率较小。目前,有许多设备配备了磁控溅射靶,


还装备了多弧目标。选择偏置电源的电源时,应根据多次工作的要求来确定。早期偏置电压主要是使用晶闸管技术的DC偏置电源,


现在使用大多数由高频逆变器技术制造的单极性,直流叠加脉冲和双极性脉冲偏置电源。由于消弧和消火功能差,已逐渐消除。


偏置电源主要用于多弧离子和磁控溅射镀膜过程中的清洁,离子轰击和膜沉积。偏置电压被施加到待涂覆的工件上。在灼热清洁过程中,它会产生灼热;用于加速离子轰击中的离子


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